接触式干涉仪检测

常见问题

接触式干涉仪检测需要多长时间？通常7-15个工作日，具体视仪器状态及是否需要拆解调整而定，常规校准项目可在7个工作日内完成。

接触式干涉仪检测费用大概多少？根据检测项目数量确定，基础的外观与测力检测费用较低，若涉及示值误差修正及全量程多点标定，费用将根据测试点数相应增加。

接触式干涉仪检测报告有什么用途？可用于质量评估、项目验收、计量标准考核以及实验室CNAS认可评审，证明仪器计量性能满足量值溯源要求。

接触式干涉仪对检测环境有什么要求？检测需在恒温恒湿实验室内进行，温度通常要求控制在20℃±1℃，且温度变化率需符合检定规程限制，以消除热胀冷缩引起的误差。

检测信息

接触式干涉仪是一种利用光波干涉原理进行高精度长度测量的光学计量仪器，主要用于量块检定、精密零件尺寸测量和微差比较测量，广泛应用于计量检定机构、精密制造车间及科研院所。

检测目的在于评定仪器的计量性能是否符合国家计量检定规程要求，涉及干涉条纹成像质量评估、测力变化测试以及示值误差标定等核心技术手段。

核心检测流程涵盖外观及相互作用检查、仪器调焦及干涉条纹JianCe度验证、示值误差与示值变动性测试，很终出具包含各项参数实测数据的校准或检测报告。

接触式干涉仪检测项目

• 外观及相互作用：检查仪器各运动部件是否平稳无卡滞，确保机械结构基础功能正常。
• 测力：测量测头接触被测物时的压力，判定其是否符合规程要求以避免划伤工件。
• 测力变动性：评估多次测量中测力的波动范围，保证测量过程中接触状态的一致性。
• 测杆移动范围：验证测杆直线移动的很大位移量是否满足设计标称值。
• 干涉条纹JianCe度：检查视场内干涉带的对比度与锐度，确保读数基准的可靠性。
• 干涉条纹弯曲度：测量干涉条纹的平直程度，判定光学系统是否存在像差。
• 仪器稳定性：在规定时间内观察零位漂移情况，评估仪器在连续工作状态下的抗干扰能力。
• 示值变动性：对同一量块进行多次重复测量，判定仪器读数的一致性程度。
• 示值误差：通过不同尺寸量块比对测量结果与标准值之差，评定仪器测量准确度等级。
• 零位漂移：检测仪器在固定零位设定下的随时间偏移量，确保长时间测量的准确性。
• 测量重复性：在相同条件下多次测量标准量块，反映仪器随机误差的大小。
• 示值误差检定：使用二等或三等量块标定仪器刻度值，判定各项分段误差是否合格。
• 工作台平面度：检测仪器工作台面的平整程度，确保被测工件放置基准的准确。
• 工作台移动平行度：评估工作台在升降或平移过程中与测量轴线的垂直状态。
• 测头半径：测量球形测头的圆弧半径，判定其是否符合标称值以减小表面接触误差。
• 刻度值误差：验证仪器分度板标定的刻度值与实际光波干涉产生的位移对应关系。
• 光源稳定性：评估仪器光源亮度及光谱特性的稳定情况，防止干涉条纹产生漂移。
• 物镜放大倍数误差：检查光学放大系统的实际放大率与标称值偏差，保证成像比例正确。
• 测量臂垂直度：判定测量轴线与基座工作面的垂直偏差，防止引入余弦误差。
• 分度对准误差：评估人眼或光电接收器对准干涉条纹与刻度线时的对准精度。

检测范围

• 立式接触式干涉仪
• 卧式接触式干涉仪
• 数显接触式干涉仪
• 光栅接触式干涉仪
• JDS-1型接触式干涉仪
• JDS-2型接触式干涉仪
• 高精度接触式干涉仪
• 量块检定用接触式干涉仪
• 微差比较用接触式干涉仪
• 便携式接触式干涉仪
• 带导轨接触式干涉仪
• 台式接触式干涉仪
• 接触式干涉比长仪
• 接触式干涉测微仪
• 激光接触式干涉仪
• 白光接触式干涉仪
• 单色光接触式干涉仪
• 大型接触式干涉仪
• 小型接触式干涉仪
• 自动化接触式干涉仪
• 手动调焦接触式干涉仪

检测标准（部分）

总结

接触式干涉仪检测涵盖示值误差、测力变动性及干涉条纹JianCe度等计量性能评定。中析研究所检测中心旗下实验室拥有CMA、CNAS、ISO等检验检测资质。报告可用于量值溯源及项目验收，常规周期为7至15个工作日。

相关检测

• 波谱仪检测
• 视觉光源检测
• 激光位移传感器检测