外延片检测

检测信息（部分）

什么是外延片？

外延片是通过化学或物理沉积技术在衬底材料表面生长单晶或多晶薄膜的材料，广泛应用于半导体、光电子等领域。

外延片检测的主要用途是什么？

检测用于评估外延层的晶体质量、厚度均匀性、成分纯度及表面缺陷，确保其符合器件制造的性能要求。

检测概要包含哪些内容？

检测包括结构分析、成分检测、电学性能测试及表面形貌观测，覆盖生产全流程的质量控制环节。

检测项目（部分）

• 厚度均匀性：评估外延层厚度的分布一致性。
• 表面粗糙度：反映外延层表面平整度。
• 晶体缺陷密度：检测位错、层错等晶体结构异常。
• 载流子浓度：衡量材料的电学传导特性。
• 掺杂分布：分析掺杂元素在材料中的空间分布。
• 带隙宽度：确定材料的能带结构特性。
• 应力分布：检测外延层与衬底间的热应力匹配度。
• 界面态密度：评估异质结界面的电荷陷阱数量。
• 霍尔迁移率：表征载流子在电场下的迁移能力。
• 光致发光强度：反映材料的光学辐射效率。
• 元素成分比例：验证化学组成的准确性。
• 击穿电压：测试材料在高电场下的耐受能力。
• 热导率：评估材料的热管理性能。
• 腐蚀速率：分析材料在特定环境中的化学稳定性。
• 反射率：测量材料表面对光的反射特性。
• 位错类型：区分刃型位错与螺型位错。
• 层错密度：统计晶体层间错位缺陷数量。
• 薄膜附着力：测试外延层与衬底的结合强度。
• 电阻率：量化材料对电流的阻碍能力。
• 光学吸收系数：表征材料对特定波长光的吸收能力。

检测范围（部分）

• 硅基外延片
• 砷化镓外延片
• 氮化镓外延片
• 碳化硅外延片
• 磷化铟外延片
• 蓝宝石衬底外延片
• SOI外延片
• 锗基外延片
• 氧化锌外延片
• 铝镓氮外延片
• 异质结外延片
• 量子阱外延片
• 超晶格外延片
• 多量子阱外延片
• 石墨烯复合外延片
• 柔性衬底外延片
• 金属有机外延片
• 分子束外延片
• 液相外延片
• 气相外延片

检测仪器（部分）

• X射线衍射仪
• 扫描电子显微镜
• 原子力显微镜
• 二次离子质谱仪
• 霍尔效应测试系统
• 椭圆偏振仪
• 光致发光谱仪
• 台阶轮廓仪
• 傅里叶红外光谱仪
• 四探针电阻测试仪

检测标准（部分）

GB/T 1550-2018非本征半导体材料导电类型测试方法

GB/T 8758-2006砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

GB/T 12964-2018硅单晶抛光片

GB/T 14015-1992硅-兰宝石外延片

GB/T 14139-2019硅外延片

GB/T 14146-2021硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法

GB/T 14844-2018半导体材料牌号表示方法

GB/T 19921-2018硅抛光片表面颗粒测试方法

GB/T 24575-2009硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

GB/T 24578-2015硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

GB/T 26066-2010硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法

GB/T 30453-2013硅材料原生缺陷图谱

GB/T 30653-2014Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法

GB/T 30654-2014Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法

GB/T 30655-2014氮化物LED外延片内量子效率测试方法

GB/T 30854-2014LED发光用氮化镓基外延片

GB/T 30857-2014蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

GB/T 32279-2015硅片订货单格式输入规范

GB/T 35308-2017太阳能电池用锗基Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片

GB/T 35310-2017200mm硅外延片

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