检测信息（部分）
干式螺杆真空泵是一种利用一对相互啮合的螺杆转子在泵腔内旋转来实现气体抽吸和压缩的真空获得设备。该设备在工作过程中无需工作液介质，能够实现清洁无油的真空环境，广泛应用于半导体制造、化工、制药、食品加工、冶金等行业。检测工作主要依据GB/T、JB/T等相关国家标准及行业规范，对设备的真空性能、机械性能、电气安全性能等方面进行全面评估，确保产品满足设计要求和使用需求。
干式螺杆真空泵检测的主要目的是验证设备的各项技术指标是否符合产品标准和技术协议的要求，同时发现产品在设计、制造、装配等环节可能存在的质量问题。通过系统的检测数据，可为产品质量改进提供依据，并为用户提供客观、真实的产品性能参考信息。
检测项目（部分）
- 极限真空度：衡量泵在规定条件下能达到的很低压力值
- 抽气速率：反映单位时间内泵所能抽除的气体体积
- 功率消耗：检测泵在额定工况下的电能消耗水平
- 噪声声压级：评估设备运行时产生的噪声强度
- 振动速度：检测泵体运行时的机械振动幅度
- 温升试验：监测设备各部位在运行过程中的温度变化
- 泄漏率：检测泵腔及管路系统的气体泄漏程度
- 螺杆转子间隙：测量转子与转子、转子与泵腔之间的配合间隙
- 轴承温度：监测轴承部位在运行时的温度状况
- 轴封密封性：检测轴封位置的密封效果
- 启动特性：记录泵从启动到稳定运行的时间和过程
- 停机特性：检测泵停机过程中的压力变化特性
- 气体回流率：评估被抽气体从排气侧向吸气侧的返流程度
- 压缩比：测量泵对气体的压缩能力
- 冷却效果：检测冷却系统的工作效率
- 绝缘电阻：测量电机绕组的绝缘性能
- 接地电阻：检测设备接地系统的导通性
- 耐压强度：验证电气系统的绝缘耐压能力
- 转子动平衡：检测螺杆转子的平衡精度
- 排气温度：监测泵出口处的气体温度
- 进气温度：检测泵入口处的气体温度
- 运行稳定性：评估设备长时间运行的性能稳定性
检测范围（部分）
- 单螺杆真空泵
- 双螺杆真空泵
- 多螺杆真空泵
- 立式螺杆真空泵
- 卧式螺杆真空泵
- 无油螺杆真空泵
- 耐腐蚀螺杆真空泵
- 高真空螺杆泵
- 中真空螺杆泵
- 低真空螺杆泵
- 化工用螺杆真空泵
- 制药用螺杆真空泵
- 食品级螺杆真空泵
- 半导体用螺杆真空泵
- 冶金用螺杆真空泵
- 变螺距螺杆真空泵
- 等螺距螺杆真空泵
- 水冷式螺杆真空泵
- 风冷式螺杆真空泵
- 直联式螺杆真空泵
- 皮带传动螺杆真空泵
- 防爆型螺杆真空泵
检测标准（部分）
| 序号 | 标准号 | 标准名称 | 类别 | 发布日期 | CCS分类 | ICS分类 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | JB/T 11716-2025 | 螺杆型干式真空泵 | (CN-JB)行业标准-机械 | 2025-07-02 | J78真空技术与设备 | 23.160真空技术 |
| 2 | JB/T 11716-2013 | 真空技术 螺杆型干式真空泵 | (CN-JB)行业标准-机械 | 2013-12-31 | J78真空技术与设备 | 23.160真空技术 |
| 3 | T/CAMER 028-2024 | 变螺距螺杆型干式真空泵 | (CN-TUANTI)团体标准 | 2024-04-30 | J机械 | 25.060.10组合单元和其他装置 |
| 4 | T/ZZB 2103-2021 | 变螺距螺杆型干式真空泵 | (CN-TUANTI)团体标准 | 2021-04-24 | J78真空技术与设备 | 23.160真空技术 |
| 5 | JB/T 11080-2011 | 真空技术 涡旋干式真空泵 | (CN-JB)行业标准-机械 | 2011-08-15 | J78真空技术与设备 | 23.160真空技术 |
| 6 | JB/T 10552-2006 | 真空技术 爪型干式真空泵 | (CN-JB)行业标准-机械 | 2006-05-06 | J78真空技术与设备 | 23.160真空技术 |
| 7 | JB/T 11237-2011 | 真空技术 多级罗茨干式真空泵 | (CN-JB)行业标准-机械 | 2011-12-20 | J78真空技术与设备 | 23.160真空技术 |
| 8 | JB/T 12586-2016 | 真空技术 湿式罗茨真空泵 | (CN-JB)行业标准-机械 | 2016-01-15 | J78真空技术与设备 | 23.160真空技术 |
| 9 | ISO 21360-2:2020 | Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 2: Positive displacement vacuum pumps | (IX-ISO)国际标准化组织 | 2020-06-15 | 23.160真空技术 | |
| 10 | T/ZZB 3749-2024 | 多级罗茨干式真空泵 | (CN-TUANTI)团体标准 | 2024-07-05 | J机械 | |
| 11 | T/STIC 110096-2024 | 半导体用多级罗茨干式真空泵 | (CN-TUANTI)团体标准 | 2024-01-01 | ||
| 12 | T/CS 227-2025 | 气冷式多级真空泵组 | (CN-TUANTI)团体标准 | 2025-12-31 | C34 | |
| 13 | KS B 6314(2022 Confirm)(2022) | 기름 회전 진공 펌프 성능 시험 방법 | (KR-KS)韩国标准 | 2002-06-22 | 23.080泵 | |
| 14 | KS B 6314-1(2022 Confirm)(2022) | 기름 회전 진공 펌프－도달 진공도 시험 방법 | (KR-KS)韩国标准 | 2002-06-07 | 23.160真空技术 | |
| 15 | KS B 6314-2002(2022) | 기름 회전 진공 펌프 성능 시험 방법 | (KR-KS)韩国标准 | 2002-06-22 | 23.080泵 | |
| 16 | KS B 6314-1-2002(2022) | 기름 회전 진공 펌프－도달 진공도 시험 방법 | (KR-KS)韩国标准 | 2002-06-07 | 23.160真空技术 | |
| 17 | QB/T 1445-1992 | 湿式罗茨真空泵性能测试方法 | (CN-QB)行业标准-轻工 | 1992-02-21 | Y91造纸机械与设备 | 23.160真空技术 |
| 18 | ISO 21360-2:2012 | Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 2: Positive displacement vacuum pumps | (IX-ISO)国际标准化组织 | 2012-04-20 | 23.160真空技术 | |
| 19 | KS B 6314-2002(2017) | 기름 회전 진공 펌프 성능 시험 방법 | (KR-KS)韩国标准 | 2002-06-22 | 23.080泵 | |
| 20 | MIL MIL-L-83767B Notice 3-Inactivation | LUBRICATING OIL, VACUUM PUMP, MECHANICAL (SUPERSEDING MIL-L-83767A) | (US-MIL)美国军事规范和标准 | 2000-06-27 |
检测仪器（部分）
- 复合真空计
- 薄膜真空计
- 热偶真空计
- 转子流量计
- 质量流量计
- 声级计
- 振动测试分析仪
- 红外测温仪
- 热像仪
- 氦质谱检漏仪
- 功率分析仪
- 数字转速表
检测方法（部分）
- 静态真空度测试法
- 动态抽气性能测试法
- 噪声声压级测量法
- 振动速度测量法
- 温升试验法
- 氦质谱检漏法
- 压力衰减检漏法
- 流量容积法
- 电气安全测试法
- 机械性能测试法
- 密封性测试法
- 耐久性试验法
总结
干式螺杆真空泵作为重要的真空获得设备，其性能检测工作涉及真空性能、机械性能、电气安全等多个方面。通过规范的检测流程和科学的检测方法，能够全面评估设备的各项技术指标，为产品质量控制提供可靠的数据支撑。检测过程中应严格按照相关标准执行，确保检测结果的准确性和可重复性，从而为产品的设计优化和质量提升提供有价值的参考依据。
