晶圆传输机械手真空兼容性试验

检测信息（部分）

Q1：晶圆传输机械手的主要功能是什么？

A1：用于半导体制造过程中在真空环境下精准搬运晶圆，确保无污染传输。

Q2：这类设备适用于哪些工业场景？

A2：主要应用于集成电路制造、薄膜沉积、光刻工艺及高真空镀膜等洁净室环境。

Q3：真空兼容性试验的核心目标是什么？

A3：验证机械手在真空环境中材料放气率、运动稳定性及颗粒释放水平是否满足半导体工艺要求。

Q4：检测周期通常需要多久？

A4：依据测试项目复杂度，常规检测周期为5-15个工作日。

Q5：检测报告包含哪些关键结论？

A5：包含真空密封性评级、材料放气数据、颗粒污染物数量及动态性能衰减曲线等核心参数。

检测项目（部分）

• 真空密封性：评估机械手在负压环境下的气密表现
• 材料放气率：测定零部件在真空中的挥发物释放量
• 颗粒污染物：检测运行产生的微米级颗粒数量
• 真空环境运动精度：验证机械臂定位重复精度
• 温度循环耐受性：检测热胀冷缩对结构的影响
• 分子污染等级：分析有机污染物沉积速率
• 真空摩擦系数：测量轴承在真空中的摩擦特性
• 电磁兼容性：检验真空舱内电磁干扰强度
• 振动频谱分析：记录运转时的机械振动频率
• 真空度保持能力：测试极限真空维持稳定性
• 材料质量损失：量化高温真空下的材料损耗
• 表面电阻率：监测静电积累风险
• 真空电弧测试：评估高压部件的放电风险
• 润滑剂挥发性：分析真空环境润滑介质稳定性
• 磁流体密封性能：检测旋转关节密封有效性
• 残余气体分析：识别真空腔内气体成分变化
• 运动轨迹偏差：测定多轴联动位置误差
• 真空冷焊效应：观察金属接触面粘附现象
• 材料出气成分：解析释放气体的化学组成
• 动态平衡特性：评估高速运动时的振动控制

检测范围（部分）

• 大气机械手
• 真空直驱机械手
• 磁悬浮传输机械手
• SCARA型晶圆搬运手
• 双臂协同传输系统
• 晶圆预对准机械手
• EFEM设备前端模块
• 真空集群机械手
• 低温传输机械手
• 300mm晶圆机械手
• 450mm晶圆搬运系统
• 硅片边缘夹持手
• 真空机器人末端执行器
• 晶圆倒片机械手
• 无尘室轨道传输手
• 分子泵集成传输系统
• 超高真空多轴机械手
• 半导体负载端口机械手
• 光刻机专用传输臂
• FOUP开闭器集成手

检测仪器（部分）

• 四级质谱仪
• 氦质谱检漏台
• 激光粒子计数器
• 超高真空模拟舱
• 纳米精度运动分析仪
• 残余气体分析系统
• 热脱附谱检测仪
• 真空摩擦测试台
• 分子污染监测装置
• 六维力传感器阵列

检测优势

检测资质（部分）

检测流程

1、中析检测收到客户的检测需求委托。

2、确立检测目标和检测需求

3、所在实验室检测工程师进行报价。

4、客户前期寄样，将样品寄送到相关实验室。

5、工程师对样品进行样品初检、入库以及编号处理。

6、确认检测需求，签定保密协议书，保护客户隐私。

7、成立对应检测小组，为客户安排检测项目及试验。

8、7-15个工作日完成试验，具体日期请依据工程师提供的日期为准。

9、工程师整理检测结果和数据，出具检测报告书。

10、将报告以邮递、传真、电子邮件等方式送至客户手中。

检测优势

1、旗下实验室用于CMA/CNAS/ISO等资质、高新技术企业等多项荣誉证书。

2、检测数据库知识储备大，检测经验丰富。

3、检测周期短，检测费用低。

4、可依据客户需求定制试验计划。

5、检测设备齐全，实验室体系完整

6、检测工程师专业知识过硬，检测经验丰富。

7、可以运用36种语言编写MSDS报告服务。

8、多家实验室分支，支持上门取样或寄样检测服务。

检测实验室（部分）

结语

以上为晶圆传输机械手真空兼容性试验的检测服务介绍,如有其他疑问可联系在线工程师！