GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法

原创版权 发布时间:2023-02-05 11:47:57     更新时间:2025-06-01 09:14:20     来源:中析研究所检测标准中心         检测咨询量:114位

《GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法》本文件规定了利用高分辨X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的方法。本文件适用于化学气相沉积及其他方法制备的氮化稼单晶衬底片晶面曲率半径的测试,氮化榢外延片晶面曲率半径的测试可参照本文件进行。

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标准信息

标准号:

GB/T 41751-2022

标准名称:

氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法

发布日期:

2022-10-14

实施日期:

2023-02-01

批发部门:

国家标准化管理委员会

归口单位:

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所、厦门柯誉尔科技有限公司、福建兆元光电有限公司、苏州纳维科技有限公司、哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司、山西华晶恒基新材料有限公司

起草人:

邱永鑫、徐科、李腾坤、左洪波、杨鑫宏、邝光宁、王建峰、任国强、郑树楠、刘立娜、丁崇灯、陈友勇

标准简介

本文件规定了利用高分辨X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的方法。

本文件适用于化学气相沉积及其他方法制备的氮化稼单晶衬底片晶面曲率半径的测试,氮化榢外延片晶面曲率半径的测试可参照本文件进行。

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检测资质(部分)

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检测流程

1、中析检测收到客户的检测需求委托。

2、确立检测目标和检测需求

3、所在实验室检测工程师进行报价。

4、客户前期寄样,将样品寄送到相关实验室。

5、工程师对样品进行样品初检、入库以及编号处理。

6、确认检测需求,签定保密协议书,保护客户隐私。

7、成立对应检测小组,为客户安排检测项目及试验。

8、7-15个工作日完成试验,具体日期请依据工程师提供的日期为准。

9、工程师整理检测结果和数据,出具检测报告书。

10、将报告以邮递、传真、电子邮件等方式送至客户手中。

检测优势

1、旗下实验室用于CMA/CNAS/ISO等资质、高新技术企业等多项荣誉证书。

2、检测数据库知识储备大,检测经验丰富。

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检测实验室(部分)

GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法

结语

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