原子力显微镜探针检测

原创版权发布时间：2026-08-03 15:07:57 更新时间：2026-08-03 15:27:16 来源：中析研究所性能分析中心检测咨询量:0位

原子力显微镜探针检测服务—北京中科光析科学技术研究所检测中心可对接触模式探针、轻敲模式探针、非接触模式探针、导电探针、磁性探针、高分辨率探针、超尖锐探针等21+项进行检测。旗下实验室具备CMA、CNAS、ISO等检验检测资质，出报告周期短，数据可靠，助力企业质量提升。

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检测咨询

检测信息（部分）

原子力显微镜探针是原子力显微镜（AFM）的核心部件，主要用于样品表面形貌成像和物理性质测量。该探针由悬臂梁和尖端组成，通过检测悬臂梁的变形或振动状态来获取样品表面信息。原子力显微镜探针广泛应用于材料科学、纳米技术、半导体工业、生物医学等领域，能够实现纳米级甚至原子级分辨率成像。

原子力显微镜探针检测主要针对探针的几何参数、力学性能、表面质量等关键指标进行评价。通过系统化的检测流程，确保探针满足不同应用场景的技术要求，保障检测数据的准确性和可靠性。检测过程涵盖外观检查、尺寸测量、力学测试、功能验证等多个环节。

检测项目（部分）

悬臂梁长度测量：决定探针的力学灵敏度和共振频率特性
悬臂梁宽度测量：影响探针的扭转刚度和横向分辨率
悬臂梁厚度测量：直接关系到探针的弹性系数计算
针尖曲率半径检测：决定成像分辨率和样品穿透能力
针尖高度测量：影响探针与样品的接触角度
针尖锥角检测：决定侧壁成像能力和深孔探测能力
弹性系数校准：确保力测量的准确性和可重复性
共振频率测试：反映探针的动态响应特性
品质因子测量：评价探针在液体环境中的性能表现
针尖形状表征：影响图像解析度和特征识别能力
悬臂梁表面粗糙度检测：评价制造工艺质量
针尖磨损程度评估：判断探针使用寿命和成像质量
涂层厚度测量：针对涂层探针的功能层质量控制
涂层附着力测试：评价涂层与基底的结合强度
导电性能检测：针对导电探针的电阻率测量
磁性探针磁力强度检测：评价磁学测量的灵敏度
悬臂梁反射面质量检测：影响光学检测信号的强度
针尖偏心量测量：影响扫描定位的准确性
热稳定性测试：评价温度变化对探针性能的影响
耐腐蚀性能检测：针对特殊环境应用的适应性评价
抗疲劳性能测试：评价长期使用的可靠性
批次一致性检验：确保产品质量的稳定性

检测范围（部分）

接触模式探针
轻敲模式探针
非接触模式探针
导电探针
磁性探针
高分辨率探针
超尖锐探针
低力常数探针
高力常数探针
硅材质探针
氮化硅材质探针
金刚石涂层探针
金属涂层探针
碳纳米管探针
功能化探针
生物探针
电化学探针
热探针
力调制探针
扫描隧道显微镜探针
多功能复合探针

检测标准（部分）

序号	标准号	标准名称	类别	发布日期	CCS分类	ICS分类
1	GB/T 45770-2025	表面化学分析原子力显微术用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序	(CN-GB)国家标准	2025-06-30	G04基础标准与通用方法	71.040.40化学分析
2	GB/T 47101-2026	表面化学分析扫描探针显微术用原子力显微镜和两点JKR法测量柔顺材料弹性模量的程序	(CN-GB)国家标准	2026-01-28	G04基础标准与通用方法	71.040.40化学分析
3	ISO 23729:2022	Surface chemical analysis — Atomic force microscopy — Guideline for restoration procedure for atomic force microscopy images dilated by finite probe size	(IX-ISO)国际标准化组织	2022-07-13		71.040.40化学分析
4	20251648-T-491	表面化学分析原子力显微术原子力显微镜有限探针尺寸引起的展宽图像复原方法指南	(CN-PLAN)国家标准计划		G04基础标准与通用方法	71.040.40化学分析
5	ISO 21222:2020	Surface chemical analysis — Scanning probe microscopy — Procedure for the determination of elastic moduli for compliant materials using atomic force microscope and the two-point JKR method	(IX-ISO)国际标准化组织	2020-01-29		71.040.40化学分析
6	ISO 13095:2014	Surface Chemical Analysis — Atomic force microscopy — Procedure for in situ characterization of AFM probe shank profile used for nanostructure measurement	(IX-ISO)国际标准化组织	2014-08-05		71.040.40化学分析
7	GB/T 40066-2021	纳米技术氧化石墨烯厚度测量原子力显微镜法	(CN-GB)国家标准	2021-05-21	A40基础学科综合	17.180光学和光学测量
8	GB/T 31227-2014	原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法	(CN-GB)国家标准	2014-09-30	J04基础标准与通用方法	17.040.20表面特征
9	GB/T 29190-2012	扫描探针显微镜漂移速率测量方法	(CN-GB)国家标准	2012-12-31	A60光学计量	17.180.99有关光学和光学测量的其他标准
10	BS ISO 21222:2020	Surface chemical analysis. Scanning probe microscopy. Procedure for the determination of elastic moduli for compliant materials using atomic force microscope and the two-point JKR method	(GB-BSI)英国标准学会	2020-02-07
11	ГОСТ 8.593-2009	Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки	(RU-GOST)俄罗斯国家标准	2009-11-11	L00/09电子元器件与信息技术综合	17.040.01长度和角度测量综合
12	GB/T 32189-2015	氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法	(CN-GB)国家标准	2015-12-10	H21金属物理性能试验方法	77.040金属材料试验
13	ГОСТ Р 8.630-2007	Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки	(RU-GOST)俄罗斯国家标准		L00/09电子元器件与信息技术综合	17.040.01长度和角度测量综合
14	JY/T 0582-2020	扫描探针显微镜分析方法通则	(CN-JY)行业标准-教育	2020-09-29	Y51教学专用仪器	03.180教育
15	JJF 1351-2012	扫描探针显微镜校准规范	(CN-JJF)国家计量技术规范	2012-06-18	A52长度计量	17.040长度和角度测量
16	GB/T 42659-2023	表面化学分析扫描探针显微术采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准	(CN-GB)国家标准	2023-08-06	G04基础标准与通用方法	71.040.40化学分析
17	GB/T 28872-2012	活细胞样品纳米结构的磁驱动轻敲模式原子力显微镜检测方法	(CN-GB)国家标准	2012-11-05	A60光学计量	17.180光学和光学测量
18	GB/T 32262-2015	用于原子力显微镜检测的脱氧核糖核酸样品的制备方法	(CN-GB)国家标准	2015-12-10	A40基础学科综合	07.030物理学、化学
19	GB/T 27760-2011	利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法	(CN-GB)国家标准	2011-12-30	N04基础标准与通用方法	19.020试验条件和规程综合
20	GB/T 36052-2018	表面化学分析扫描探针显微镜数据传送格式	(CN-GB)国家标准	2018-03-15	G04基础标准与通用方法	71.040.40化学分析