检测信息（部分）
二次离子质谱仪是一种用于材料表面分析的精密仪器，通过一次离子束轰击样品表面产生二次离子，利用质谱技术对二次离子进行质量分析，从而获得样品表面的元素组成、分子结构及深度分布信息。
该仪器广泛应用于半导体工业、材料科学、地质学、生物学等领域，可用于薄膜分析、杂质检测、同位素分析、表面污染物识别等多种检测场景。
二次离子质谱仪具有极高的检测灵敏度，可检测ppm甚至ppb级别的杂质元素，同时具备优异的空间分辨率和深度分辨率，能够实现微区分析和三维成分成像。
检测方法（部分）
- 静态二次离子质谱法
- 动态二次离子质谱法
- 飞行时间质谱法
- 四极杆质谱法
- 磁扇形质谱法
- 双聚焦质谱法
- 深度剖面分析法
- 二维成像分析法
- 三维重构分析法
- 同位素比值测量法
- 定量校准法
检测范围（部分）
- 半导体硅片
- 砷化镓晶片
- 碳化硅材料
- 氮化镓材料
- 集成电路芯片
- 太阳能电池片
- LED芯片
- MEMS器件
- 金属薄膜
- 介质薄膜
- 有机薄膜
- 磁性材料
- 陶瓷材料
- 玻璃材料
- 高分子材料
- 复合材料
- 地质样品
- 陨石样品
- 生物组织切片
- 药物颗粒
- 电池电极材料
- 催化剂颗粒
检测标准（部分）
| 序号 | 标准号 | 标准名称 | 类别 | 发布日期 | CCS分类 | ICS分类 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | GB/T 40129-2021 | 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准 | (CN-GB)国家标准 | 2021-05-21 | G04基础标准与通用方法 | 71.040.40化学分析 |
| 2 | T/ZJKSFIA 0005(第二次修订)-2023 | 水果酒 | (CN-TUANTI)团体标准 | 2025-07-12 | X62发酵酒 | 67.160.01饮料综合 |
| 3 | T/ZJKSFIA 0003(第二次修订)-2022 | 万全甜糯玉米 | (CN-TUANTI)团体标准 | 2022-07-10 | C13磺胺、抗结核与其他抗感染药 | |
| 4 | ISO 13084:2025 | Surface chemical analysis — Mass spectrometries — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer | (IX-ISO)国际标准化组织 | 2025-10-23 | 71.040.40化学分析 | |
| 5 | BS ISO 13084:2018 | Surface chemical analysis. Secondary ion mass spectrometry. Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer | (GB-BSI)英国标准学会 | 2018-11-16 | ||
| 6 | BS 10/30199193 DC | BS ISO 13084. Surface chemical analysis. Secondary ion mass spectrometry. Calibration of the mass scale for a time of flight secondary ion mass spectrometer | (GB-BSI)英国标准学会 | 2010-04-22 | ||
| 7 | ISO 13084:2018 | Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer | (IX-ISO)国际标准化组织 | 2018-11-15 | 71.040.40化学分析 | |
| 8 | ISO 13084:2011 | Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary-ion mass spectrometer | (IX-ISO)国际标准化组织 | 2011-05-05 | 71.040.40化学分析 | |
| 9 | GB/T 42263-2022 | 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法 | (CN-GB)国家标准 | 2022-12-30 | H17半金属及半导体材料分析方法 | 77.040金属材料试验 |
| 10 | ISO 17862:2022 | Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Linearity of intensity scale in single ion counting time-of-flight mass analysers | (IX-ISO)国际标准化组织 | 2022-09-23 | 71.040.40化学分析 | |
| 11 | GB/T 43663-2024 | 表面化学分析 二次离子质谱 静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性 | (CN-GB)国家标准 | 2024-03-15 | G04基础标准与通用方法 | 71.040.40化学分析 |
| 12 | GB/T 39144-2020 | 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法 | (CN-GB)国家标准 | 2020-10-11 | H17半金属及半导体材料分析方法 | 77.040金属材料试验 |
| 13 | BS ISO 13084:2011 | Surface chemical analysis. Secondary-ion mass spectrometry. Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary-ion mass spectrometer | (GB-BSI)英国标准学会 | 2011-05-31 | ||
| 14 | GB 17051-2025 | 二次供水设施卫生规范 | (CN-GB)国家标准 | 2025-05-30 | C51环境卫生 | 13.060.20饮用水 |
| 15 | DB37/T 2393-2013 | 二次锂离子电池电解液 | (CN-DB37)山东省地方标准 | 2013-09-22 | K82化学电源 | 29.220.99其他电池和蓄电池 |
| 16 | KS D ISO 17862-2026 | 표면 화학 분석 — 이차 이온 질량분석법 — 단일 이온 계수 비행 시간 질량 분석기에서의 세기 스케일 선형성 | (KR-KS)韩国标准 | 2026-04-03 | 71.040.40化学分析 | |
| 17 | JJF 2041-2023 | 互感器二次压降及二次负荷现场测试方法 | (CN-JJF)国家计量技术规范 | 2023-06-30 | A55电磁计量 | 17.220电学、磁学、电和磁的测量 |
| 18 | DL/T 1517-2016 | 二次压降及二次负荷现场测试技术规范 | (CN-DL)行业标准-电力 | 2016-01-07 | K40输变电设备综合 | 29.240输电网和配电网 |
| 19 | ISO 17862:2013 | Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Linearity of intensity scale in single ion counting time-of-flight mass analysers | (IX-ISO)国际标准化组织 | 2013-12-10 | 71.040.40化学分析 | |
| 20 | SJ/T 11498-2015 | 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法 | (CN-SJ)行业标准-电子 | 2015-04-30 | H82元素半导体材料 | 29.045半导体材料 |
检测仪器（部分）
- 飞行时间二次离子质谱仪
- 四极杆二次离子质谱仪
- 磁扇形二次离子质谱仪
- 双聚焦二次离子质谱仪
- 纳米二次离子质谱仪
- 静态二次离子质谱仪
- 动态二次离子质谱仪
- 三重聚焦二次离子质谱仪
- 离子探针质谱仪
- 成像二次离子质谱仪
- 高分辨二次离子质谱仪
检测项目（部分）
- 元素定性分析——确定样品中存在的元素种类
- 元素定量分析——测定样品中各元素的含量
- 同位素比值分析——测量同位素的相对丰度
- 深度剖析——分析元素随深度的分布变化
- 表面杂质检测——识别样品表面的微量污染物
- 薄膜成分分析——测定薄膜材料的元素组成
- 界面扩散分析——研究元素在界面处的扩散行为
- 掺杂浓度分布——测量半导体中掺杂元素的深度分布
- 分子碎片分析——识别有机材料的分子结构信息
- 二维元素成像——获取元素在样品表面的分布图像
- 三维成分重构——构建样品三维元素分布图
- 颗粒物成分分析——分析微小颗粒的元素组成
- 表面吸附物种检测——识别表面吸附的分子物种
- 氧化层厚度测量——测定表面氧化层的厚度
- 界面反应产物分析——识别界面反应生成的化合物
- 痕量金属检测——检测极低浓度的金属杂质
- 注 入剖面分析——分析离子注入后的元素分布
- 多层膜结构分析——表征多层膜的结构和成分
- 晶界偏析分析——研究元素在晶界处的偏聚
- 电池材料界面分析——分析电池界面的成分变化
- 生物样品元素成像——获取生物组织中元素的分布图像
- 催化剂表面分析——研究催化剂表面的元素状态
总结
二次离子质谱仪作为一种高灵敏度的表面分析设备，在材料表征和质量控制方面发挥着重要作用。通过对样品进行元素分析、深度剖析和成像分析，可以为科研和生产提供可靠的数据支持，帮助用户深入了解材料的微观结构和成分特征。
