二次离子质谱仪检测

检测信息（部分）

二次离子质谱仪是一种用于材料表面分析的精密仪器，通过一次离子束轰击样品表面产生二次离子，利用质谱技术对二次离子进行质量分析，从而获得样品表面的元素组成、分子结构及深度分布信息。

该仪器广泛应用于半导体工业、材料科学、地质学、生物学等领域，可用于薄膜分析、杂质检测、同位素分析、表面污染物识别等多种检测场景。

二次离子质谱仪具有极高的检测灵敏度，可检测ppm甚至ppb级别的杂质元素，同时具备优异的空间分辨率和深度分辨率，能够实现微区分析和三维成分成像。

检测方法（部分）

• 静态二次离子质谱法
• 动态二次离子质谱法
• 飞行时间质谱法
• 四极杆质谱法
• 磁扇形质谱法
• 双聚焦质谱法
• 深度剖面分析法
• 二维成像分析法
• 三维重构分析法
• 同位素比值测量法
• 定量校准法

检测范围（部分）

• 半导体硅片
• 砷化镓晶片
• 碳化硅材料
• 氮化镓材料
• 集成电路芯片
• 太阳能电池片
• LED芯片
• MEMS器件
• 金属薄膜
• 介质薄膜
• 有机薄膜
• 磁性材料
• 陶瓷材料
• 玻璃材料
• 高分子材料
• 复合材料
• 地质样品
• 陨石样品
• 生物组织切片
• 药物颗粒
• 电池电极材料
• 催化剂颗粒

检测标准（部分）

序号	标准号	标准名称	类别	发布日期	CCS分类	ICS分类
1	GB/T 40129-2021	表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准	(CN-GB)国家标准	2021-05-21	G04基础标准与通用方法	71.040.40化学分析
2	T/ZJKSFIA 0005(第二次修订)-2023	水果酒	(CN-TUANTI)团体标准	2025-07-12	X62发酵酒	67.160.01饮料综合
3	T/ZJKSFIA 0003(第二次修订)-2022	万全甜糯玉米	(CN-TUANTI)团体标准	2022-07-10	C13磺胺、抗结核与其他抗感染药
4	ISO 13084:2025	Surface chemical analysis — Mass spectrometries — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer	(IX-ISO)国际标准化组织	2025-10-23		71.040.40化学分析
5	BS ISO 13084:2018	Surface chemical analysis. Secondary ion mass spectrometry. Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer	(GB-BSI)英国标准学会	2018-11-16
6	BS 10/30199193 DC	BS ISO 13084. Surface chemical analysis. Secondary ion mass spectrometry. Calibration of the mass scale for a time of flight secondary ion mass spectrometer	(GB-BSI)英国标准学会	2010-04-22
7	ISO 13084:2018	Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer	(IX-ISO)国际标准化组织	2018-11-15		71.040.40化学分析
8	ISO 13084:2011	Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary-ion mass spectrometer	(IX-ISO)国际标准化组织	2011-05-05		71.040.40化学分析
9	GB/T 42263-2022	硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法	(CN-GB)国家标准	2022-12-30	H17半金属及半导体材料分析方法	77.040金属材料试验
10	ISO 17862:2022	Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Linearity of intensity scale in single ion counting time-of-flight mass analysers	(IX-ISO)国际标准化组织	2022-09-23		71.040.40化学分析
11	GB/T 43663-2024	表面化学分析 二次离子质谱 静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性	(CN-GB)国家标准	2024-03-15	G04基础标准与通用方法	71.040.40化学分析
12	GB/T 39144-2020	氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法	(CN-GB)国家标准	2020-10-11	H17半金属及半导体材料分析方法	77.040金属材料试验
13	BS ISO 13084:2011	Surface chemical analysis. Secondary-ion mass spectrometry. Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary-ion mass spectrometer	(GB-BSI)英国标准学会	2011-05-31
14	GB 17051-2025	二次供水设施卫生规范	(CN-GB)国家标准	2025-05-30	C51环境卫生	13.060.20饮用水
15	DB37/T 2393-2013	二次锂离子电池电解液	(CN-DB37)山东省地方标准	2013-09-22	K82化学电源	29.220.99其他电池和蓄电池
16	KS D ISO 17862-2026	표면 화학 분석 — 이차 이온 질량분석법 — 단일 이온 계수 비행 시간 질량 분석기에서의 세기 스케일 선형성	(KR-KS)韩国标准	2026-04-03		71.040.40化学分析
17	JJF 2041-2023	互感器二次压降及二次负荷现场测试方法	(CN-JJF)国家计量技术规范	2023-06-30	A55电磁计量	17.220电学、磁学、电和磁的测量
18	DL/T 1517-2016	二次压降及二次负荷现场测试技术规范	(CN-DL)行业标准-电力	2016-01-07	K40输变电设备综合	29.240输电网和配电网
19	ISO 17862:2013	Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Linearity of intensity scale in single ion counting time-of-flight mass analysers	(IX-ISO)国际标准化组织	2013-12-10		71.040.40化学分析
20	SJ/T 11498-2015	重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法	(CN-SJ)行业标准-电子	2015-04-30	H82元素半导体材料	29.045半导体材料

检测仪器（部分）

• 飞行时间二次离子质谱仪
• 四极杆二次离子质谱仪
• 磁扇形二次离子质谱仪
• 双聚焦二次离子质谱仪
• 纳米二次离子质谱仪
• 静态二次离子质谱仪
• 动态二次离子质谱仪
• 三重聚焦二次离子质谱仪
• 离子探针质谱仪
• 成像二次离子质谱仪
• 高分辨二次离子质谱仪

检测项目（部分）

• 元素定性分析——确定样品中存在的元素种类
• 元素定量分析——测定样品中各元素的含量
• 同位素比值分析——测量同位素的相对丰度
• 深度剖析——分析元素随深度的分布变化
• 表面杂质检测——识别样品表面的微量污染物
• 薄膜成分分析——测定薄膜材料的元素组成
• 界面扩散分析——研究元素在界面处的扩散行为
• 掺杂浓度分布——测量半导体中掺杂元素的深度分布
• 分子碎片分析——识别有机材料的分子结构信息
• 二维元素成像——获取元素在样品表面的分布图像
• 三维成分重构——构建样品三维元素分布图
• 颗粒物成分分析——分析微小颗粒的元素组成
• 表面吸附物种检测——识别表面吸附的分子物种
• 氧化层厚度测量——测定表面氧化层的厚度
• 界面反应产物分析——识别界面反应生成的化合物
• 痕量金属检测——检测极低浓度的金属杂质
• 注 入剖面分析——分析离子注入后的元素分布
• 多层膜结构分析——表征多层膜的结构和成分
• 晶界偏析分析——研究元素在晶界处的偏聚
• 电池材料界面分析——分析电池界面的成分变化
• 生物样品元素成像——获取生物组织中元素的分布图像
• 催化剂表面分析——研究催化剂表面的元素状态

总结

二次离子质谱仪作为一种高灵敏度的表面分析设备，在材料表征和质量控制方面发挥着重要作用。通过对样品进行元素分析、深度剖析和成像分析，可以为科研和生产提供可靠的数据支持，帮助用户深入了解材料的微观结构和成分特征。

检测优势

检测资质（部分）

检测流程

1、中析检测收到客户的检测需求委托。

2、确立检测目标和检测需求

3、所在实验室检测工程师进行报价。

4、客户前期寄样，将样品寄送到相关实验室。

5、工程师对样品进行样品初检、入库以及编号处理。

6、确认检测需求，签定保密协议书，保护客户隐私。

7、成立对应检测小组，为客户安排检测项目及试验。

8、7-15个工作日完成试验，具体日期请依据工程师提供的日期为准。

9、工程师整理检测结果和数据，出具检测报告书。

10、将报告以邮递、传真、电子邮件等方式送至客户手中。

检测优势

1、旗下实验室用于CMA/CNAS/ISO等资质、高新技术企业等多项荣誉证书。

2、检测数据库知识储备大，检测经验丰富。

3、检测周期短，检测费用低。

4、可依据客户需求定制试验计划。

5、检测设备齐全，实验室体系完整

6、检测工程师专业知识过硬，检测经验丰富。

7、可以运用36种语言编写MSDS报告服务。

8、多家实验室分支，支持上门取样或寄样检测服务。

检测实验室（部分）

结语

以上为二次离子质谱仪检测的检测服务介绍,如有其他疑问可联系在线工程师！